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白光显微干涉仪是一种高精度的表面三维形貌无损测量仪器，它将光学显微成像与低相干干涉测量相结合，被广泛应用于褶密工程和科学研究领域。它通过单色光和白光测量模式的切换，可以测量从超光滑到非常粗糙的表面，满足对平面度、粗糙度、台阶高度等参数的测量需求。通过不同倍率干涉物镜的切换（选配自研2.5X, 5X, 10X, 20X, 50X, 100X)获得不同的测量视场范围，选配不同的扫描机构可获得大至100mm的高度测量能力，满足对不同尺度微观结构的形貌详测需求。