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动态粗糙度测量仪

动态微观轮廓仪是一种高精度表面形貌测量仪器,用于测量光滑表面的粗糙度以及百纳米以下的台阶高度。该仪器基于先进的空间移相干涉技术,通过创新的光学设计和信号处理算法,能够有效抑制环境振动和空气扰动对测量结果的影响。与传统光学轮廓仪相比,该仪器突破了厚重隔振机构的限制,具有显著的轻量化和集成化优势。其紧凑的结构设计和优异的抗干扰性能,使其特别适合在光学加工车间等工业现场环境中进行实时在线测量。这种便携式的高精度测量能力,为光学元件的加工过程监控和质量控制提供了可靠的技术手段,显著提升了光学制造过程的效率和质量保证能力。

本系统严格遵循 ISO25178 标准,提供高精度表面形貌分析功能,涵盖粗糙度 (Ra)、峰谷值 (PV) 等关键参数,并支持 1D 至 3D 全维度数据可视化。


  • 核心功能与配置

    1.测量模式

    单帧测量:适用于快速表面质量检测

    多帧平均测量:显著提升数据稳定性,降低随机噪声影响

    2.光学放大范围

    配置0.9x  -50x可调偏振干涉物镜组,满足从宏观轮廓到微观结构的全尺度分析需求(详细参数见表2)。

    3位移机构

    提供高精度三足电动位移平台,实现精准定位,确保重复定位精度优于土1 µ m。数据输出示例

    1D轮廓曲线:直观显示表面起伏特征

    2D伪彩图通过色阶映射表面宽度分布

    3D拓扑模型:支持旋转等交互操作


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技术文章

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