Optilayer单光谱监控
数十年来，OptiLayer始终引领着多层光学薄膜的设计、表征与监控标准。如今，其专业能力已延伸至测量硬件本身。OptiLayer单色仪是一款专为光学薄膜沉积而研发的高精度仪器，并与OL Monitor软件集成，形成测量与膜层终止决策的闭环系统。
在单光谱监控中，每一层终止决策都依赖薄膜沉积过程中透射率或反射率的微小变化。电噪声和测量漂移会直接转化为厚度误差，而厚度误差则会导致薄膜超出规格范围。OptiLayer单色仪从设计之初就致力于提供纯净、稳定、高精度的信号——确保您的监控策略完全按照预期执行。
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优势特点宽光谱覆盖范围：单个仪器工作波段为 180-3600 nm，覆盖深紫外、可见光、近红外及中红外区域。灵活的光栅配置：采用优化的 Czerny-Turner 光学方案，多可安装 4个衍射光栅，以适应不同波段需求。超低噪声电子设计：配备精密电压调节器，将电源噪声控制在 11–15 µV，确保基线干净、稳定。高测量精度：光谱特性测量误差仅为 0.01%，适用于精密监控应用。高分辨率波长控制：分辨率可低至 0.15 nm以下。精细波长调谐：波长调谐重复性达 ±0.017 nm，光栅旋转步长为 0.009 nm，实现信号精确控制。无缝软件集成：通过高速 USB 直接与 OptiLayer 的 OL monitor 软件 配合使用。全流程自动化：测量数据直接输入监控软件，实现从 数据采集到膜层终止 的完整工作流程。
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技术参数表
Optical system光学系统
Optical scheme Optimized Czerny–Turner, one optical input and two outputs Spectral range (typical) 190 – 3600 nm Operating range 180 – 3600 nm Monochromator spectral bandwidth 0.2 – 25.2 nm F/number 1 : 3.8 Focal length 284 mm Flat field 30 × 10 mm Imaging Optional; available on both output ports Diffraction gratings 50 × 50 × 10 mm; single grating or a turret with 4 gratings Diffraction gratings衍射光栅
Parameter Grating1 Grating2 Grating3 Grating4 Grooves/mm 1800 1200 600 300 Reciprocal linear dispersion (avg.), nm/mm 2.12 3.18 6.37 12.64 Blaze wavelength, nm 270 400 750 2000 Spectral range, nm 190–540 265–800 500–1500
1330–3600 Multichannel array bandpass (avg.), nm 51 76 150 160 Resolution (avg.), nm <0.15 <0.22 <0.45 <0.94 Wavelength tuning accuracy, nm ±0.067 ±0.1 ±0.2 ±0.4 Wavelength tuning repeatability, nm ±0.017 ±0.025 ±0.05 ±0.1 Step of grating rotation, nm 0.009 0.013 0.026 0.05 Scanning rate, nm/s 16.7 25 50 100 Slits狭缝
Entrance / exit slits Automatic and manual adjustment Slit width 0 – 2 mm Slit height 12 mm Parallelism ±1 µm Micrometer reading accuracy ±1 µm Step size 0.001953125 mm Precision ±1 µm Filter wheel转轮
Filter wheel Automatic switching Max number of filters 6 Standard number of filters 5 Filter size 20 mm Light aperture 18 mm Integrated shutter Program-controlled; for dark-signal measurement Electronics & measurement电气参数
Power supply Precision voltage regulator, noise level 11–15 µV Amplifier power supply 24 V Spectral characteristic measurement error 0.01% Interface & physical接口和尺寸
Computer interface High-Speed USB Dimensions 410 × 252 × 213 mm Weight 23.5 kg Software integration OL Monitor
