产品中心

Optilayer monitor光学监控软件

该软件皆在监测光束穿过镀膜样品时的透射(或反射)光谱,同时可以提供光谱预测功能

确保薄膜沉积及时终止。

该软件包含OptiReOpt库,它能够得到之前已镀膜层产生的偏差,并重新计算终的光谱曲线,并将其与理论(理想)光谱进行对比,通过重新优化薄膜结构来小化理论与实践的偏差。该软件支持与真空沉积系统集成,实现镀膜机挡板自动控制以及生成层终止信号。


  • 软件功能模块介绍:

    1. 项目文件读入:能够直接读取LMR文件格式,文件内容包括基底,材料和膜系设计结构

    nt4.png


    2.参数设置,选择光谱仪类型,扫描次数,曝光时间等。

    nt5.png


    2.1 过程设置,包括起止波长,偏振态,入射角等

    nt6.png


    3 薄膜沉积过程监控

    参数设置完之后,可以在薄膜沉积过程中,实时进行信号监控,在这个界面,可以显示

    nt7.png


    -理论曲线-由optilayer计算的当前膜层的理论光谱曲线

    - 实时由光谱仪测量的曲线


    可以在厚度选项卡中,查看已镀膜层的物理和光学厚度

    nt8.png


    4过程模拟器

    根据设置的镀膜控制参数,可以模拟薄膜沉积过程

    nt9.png


  • 其他特点:

    • 层终止触发信号输出,层开始触发信号输入

    • 镀膜过程手动终止. 

    • 每一层结束后自动重计算厚度和折射率

    • 每两次测量之间可以增加停止沉积的信号

    • 上传之前的光谱数据,从任意层开始镀膜

    • 基于之前的镀膜误差,可以查看终可预测的光谱,不论前面已经镀了多少层

    • 在沉积过程中,可通过对话框或控制按钮按层禁用再优化功能

技术文章

  • 联系电话
    010-53391927
  • 电子邮箱
    sales@lightedgetek.com
  • 公司地址
    北京市海淀区魏公村街1号韦伯豪家园8号楼3层3155
微信公众号

北京新嘉光科技有限公司 版权所有 © 2023 All Rights Reserved. 京ICP备2023022501号-1

  • 首页
  • 电话
  • 留言
  • 顶部
  • 您可以填写下面的资料留言给我们,
    我们会尽快回复您。

    • 姓名
    • 电话
    • 邮箱
    • 公司
    • 信息
    • 点击更换验证码