Optilayer monitor光学监控软件
该软件皆在监测光束穿过镀膜样品时的透射(或反射)光谱,同时可以提供光谱预测功能
确保薄膜沉积及时终止。
该软件包含OptiReOpt库,它能够得到之前已镀膜层产生的偏差,并重新计算终的光谱曲线,并将其与理论(理想)光谱进行对比,通过重新优化薄膜结构来小化理论与实践的偏差。该软件支持与真空沉积系统集成,实现镀膜机挡板自动控制以及生成层终止信号。
-
软件功能模块介绍:
1. 项目文件读入:能够直接读取LMR文件格式,文件内容包括基底,材料和膜系设计结构

2.参数设置,选择光谱仪类型,扫描次数,曝光时间等。

2.1 过程设置,包括起止波长,偏振态,入射角等

3 薄膜沉积过程监控
参数设置完之后,可以在薄膜沉积过程中,实时进行信号监控,在这个界面,可以显示

-理论曲线-由optilayer计算的当前膜层的理论光谱曲线
- 实时由光谱仪测量的曲线
可以在厚度选项卡中,查看已镀膜层的物理和光学厚度

4过程模拟器
根据设置的镀膜控制参数,可以模拟薄膜沉积过程

-
其他特点:
• 层终止触发信号输出,层开始触发信号输入
• 镀膜过程手动终止.
• 每一层结束后自动重计算厚度和折射率
• 每两次测量之间可以增加停止沉积的信号
• 上传之前的光谱数据,从任意层开始镀膜
• 基于之前的镀膜误差,可以查看终可预测的光谱,不论前面已经镀了多少层
• 在沉积过程中,可通过对话框或控制按钮按层禁用再优化功能